大気中O₂/CF₃I混合ガス中でのパルス電流波形の観測とドリフト速度の計測

抄録

我々は、SF₆の代替ガスとして環境負荷が少なく、電気絶縁性能の高いCF₃Iガスに注目している。本研究では、大気圧純O₂ガスとO₂/CF₃I(0.1%,1.0%,10%)混合ガス中において、パルスレーザを用いることで弱電離プラズマを発生させ、平等電界ギャップ中でレーザ照射位置を変更した場合の正負イオンの挙動計測を行った。その結果、純O₂ガスでは正負イオン流から同時に正負イオンドリフト速度を観測することができたが、O₂/CF₃I混合ガス中では、観測できたイオン電流波形から異なる2つの正イオンドリフト速度と1つの負イオンドリフト速度を同時に計測することができた。