オゾン処理カーボンナノチューブを用いたZnOナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサによるNO₂検出：（2）NO₂応答評価

抄録

著者らは、これまでにカーボンナノチューブ（CNT）を電極間に集積させるCNTガスセンサ作製法（誘電泳動集積法）を開発し、二酸化窒素の常温検出に成功している。さらに、誘電泳動集積法によりZnOナノ粒子をCNT表面に修飾させることができる。ZnOナノ粒子修飾CNTガスセンサによる二酸化窒素応答には、CNTとZnOナノ粒子のヘテロ接合部の抵抗変化が大きく寄与している。そこで本研究では、CNT表面に格子欠陥を導入することを目的として、オゾンによる酸化処理を行い、誘電泳動集積法によりZnOナノ粒子修飾CNTガスセンサを作製し、 二酸化窒素応答考察を行ったので報告する。