高エネルギー密度下で作製したNd-Fe-B/α-Fe系ナノコンポジット磁石膜

抄録

本研究室では高トルクを有するシリンダ型小型モータへの搭載を目的とし，PLD法を用い，保磁力400 kA/m，残留磁化0.9 T，(BH)_max 90 kJ/m³程度の磁気特性を目標値として等方性Nd-Fe-B/α-Fe系ナノコンポジット厚膜磁石の作製を試み,その結果，エネルギー密度10 J/cm²以上の著しく大きな条件下で成膜した際，化学量論組成に対しNd-richターゲットを用いたにも関わらず，Nd-poorな組成の試料が得られ、熱処理後，残留磁化1.0 T，(BH)_max 100 kJ/m³程度の値を達成した。本研究では更なる厚膜化に際し，その磁気特性と成膜時間の関係を検討し,更には，厚膜磁石のNd含有量を操作し，磁気特性の向上を試みた。