抄録
本研究室ではPLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い，Nd-Fe-B系永久磁石膜を中心に作製ならびに磁気特性を評価すると共に，小型デバイスに応用してきた。この永久磁石膜の磁気特性向上に対し，高い[BH]_maxが期待される「ナノコンポジット磁石膜」の作製を鑑み，本研究では，ソフト磁性相として利用する高飽和磁化のFe-Co系磁性膜の作製に取り組んだ。本実験では，特に，レーザのスポットサイズを変化させ，その磁性膜の「表面形態」，「組成転写性」ならびに「磁気特性」を評価したので報告する。
