電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
平成28年度電気・情報関係学会九州支部連合大会(第69回連合大会)講演論文集
セッションID: 14-1A-03
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SnO2ナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサの二酸化窒素応答に及ぼすバッファガスの影響
*井上 翔太難波 佑至中野 道彦末廣 純也
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抄録
我々の研究グループは、誘電泳動力という静電気の力を利用し、簡便かつ低コストなガスセンサの作成法として誘電泳動集積法を開発した。さらに、CNTガスセンサの高機能化のために、誘電泳動集積法を使用し、CNT表面への金属酸化物半導体の修飾を行っている。本研究では、CNT表面にSnO2ナノ粒子を修飾したガスセンサの空気希釈及び、窒素希釈二酸化窒素に対する応答を取得した。窒素希釈では二酸化窒素暴露直後に急激に抵抗値が上昇し、その後徐々に減少する応答を示した。空気希釈では二酸化窒素暴露後ゆっくりと抵抗が減少した。このバッファガスによる二酸化窒素応答の違いの詳細を報告する。
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© 2016 電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
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