抄録
我々の研究グループは、誘電泳動力という静電気の力を利用し、簡便かつ低コストなガスセンサの作成法として誘電泳動集積法を開発した。さらに、CNTガスセンサの高機能化のために、誘電泳動集積法を使用し、CNT表面への金属酸化物半導体の修飾を行っている。本研究では、CNT表面にSnO2ナノ粒子を修飾したガスセンサの空気希釈及び、窒素希釈二酸化窒素に対する応答を取得した。窒素希釈では二酸化窒素暴露直後に急激に抵抗値が上昇し、その後徐々に減少する応答を示した。空気希釈では二酸化窒素暴露後ゆっくりと抵抗が減少した。このバッファガスによる二酸化窒素応答の違いの詳細を報告する。