SnO₂ナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサの二酸化窒素応答の修飾量による影響

抄録

カーボンナノチューブ（CNT）は様々な優れた特性を有し、ガスセンサを始めとする多くの分野に応用されている。著者らは、これまでにCNT等のナノマテリアルをマイクロ電極上に集積するセンサ作製法（誘電泳動集積法）を開発し、同集積法によって作製したCNTガスセンサを用いてNO₂等の酸化性ガス及びNH₃等の還元性ガスの室温検出を行った。CNTガスセンサは様々な特性を持つナノ粒子を修飾することでセンサ感度の向上や検出できるガスを多種化する可能性が示されている。本研究では、誘電泳動集積法を用いてCNTガスセンサに対してSnO₂ナノ粒子を修飾し、その修飾量を変化させた場合のNO₂に対する特性変化について調査したので報告する。