誘電泳動集積法で作製した電界効果トラジスタ型カーボンナノチューブガスセンサによる二酸化窒素検出

抄録

カーボンナノチューブ（CNT）を用いた電界効果トランジスタ（FET）型ガスセンサを作製して二酸化窒素応答を取得した。CNTガスセンサはガス分子の吸着によるキャリア密度の変化を利用する。FET型ではゲート電圧を印加することでも、そのキャリア密度を調整する。両者の性質の組み合わせによって、高感度化できると考えた。本研究では、裏面にゲート電極を配したp型シリコン基板上にマイクロ電極を作製し、単層CNTを誘電泳動集積して、電極材料にクロムとアルミニウムを用いて、1ppm 二酸化窒素に対する応答を比較した。