高エネルギー密度下で成膜したNd-Fe-B系磁石膜の諸特性とターゲット組成の関係

抄録

等方性の磁石膜を小型デバイスへ応用する際，残留磁気分極が比較的高いナノコンポジット膜の利用が期待される。すでに我々は，PLD法を用いた磁石膜の成膜において，ターゲットに照射するレーザーのビーム径を絞り10 J/cm²以上の高エネルギー密度下で成膜した際に，優れた磁気特性を示す等方性Nd-Fe-B/α-Feナノコンポジット膜が得られることを報告した。本研究では，上記の手法において化学量論組成に対しNdの含有量を幅広く変化させた合金ターゲットを用い作製した試料の表面形態，磁気特性を観察，評価し，最適なターゲット組成について検討したので報告する。