高圧クリプトンガス中におけるクリプトンダイマーの生成

抄録

近年，産業界では光ドライ洗浄用の光源として希ガスエキシマランプが利用されており，その主たる生成キネティクスは希ガス原子を放電励起する三体衝突過程であることが知られている．本研究では希ガスダイマーを直接励起する二体衝突過程を介した希ガスエキシマ生成法を提案している．希ガスダイマーは常温でほとんど存在しないが，100気圧程度の超高圧下においてはモノマーと同程度存在することが見積もられる．この高圧ガス中で形成される希ガスダイマーを直接励起すれば，二体衝突過程による高密度の希ガスエキシマ生成が期待できる．今回，高圧Kr ガス中のKr ダイマーを光励起することによって，Kr エキシマ発光を確認したので報告する．