1ミクロン帯光センシング用光源の波長帯域を拡大させる量子井戸構造の検討

抄録

1ミクロン帯は水の吸収が少なく、生体や農作物のセンシングに適した波長帯である。本研究では1ミクロン帯の量子井戸として使われるGaAs基板上InGaAs量子井戸に加え、一部に窒素を添加したInGaAsNの複合量子井戸構造を作製し、フォトルミネッセンス測定において波長帯域の拡大を確認した。デバイス作製方法、結果を交えて報告する。