電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
平成28年度電気・情報関係学会九州支部連合大会(第69回連合大会)講演論文集
セッションID: 05-2P-06
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低屈折率材料を用いた有機マイクロディスクの作製
*三上 裕也笠 聡一郎陳 聡李 継峰三井 晨太郎吉岡 宏晃西村 直也興 雄司
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抄録
高い光閉じ込め効果を持つマイクロキャビティは近年着目され、中でも円盤状のマイクロディスクは大きさの制御が容易であるので様々な応用が期待されている。マイクロディスクは従来主にリソグラフィ法が用いられていたが、この方法は高精度かつ大量作製が可能である一方でコストが高く高温プロセスを要するために作製における制約が多い。そこで最近我々は、常温・大気圧下でオンデマンドの作製が可能であるインクジェット印刷法を提案し、高屈折率のポリマーと組み合わせてマイクロディスクの作製を行ってきた。本研究では、新たに水以下の低屈折率の材料を使用したマイクロディスクの作製を行い、その特性を評価したので報告する。
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© 2016 電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
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