パルスアーク放電プラズマ生成ZnO微粒子に対するパルス幅および電流の影響

抄録

ZnO粒子は紫外線遮断や高い抗菌効果を持ち、化粧品や薬品などに応用できることから、近年ZnOの微粒子化への期待が高まっている。現在、粉砕法やパルス細線放電法といった微粒子生成方法が存在するが、本研究ではパルスアーク放電プラズマ法を用いてZnO微粒子を生成した。この生成方法はリアクター内に酸素を充填し、亜鉛電極間に高電圧を印加することでパルスアーク放電を発生させ、ZnO微粒子を生成する。今回は微粒子生成時のパルス幅及び電流値に着目し、それらのパラメータを変化させることで高純度微粒子の生成を目指した。生成微粒子はFE-SEMによる粒子形状観察、X線回折による組成調査により評価した。