近年、立上りおよび立下り約2 ns、パルス幅約5 ns、ピーク電圧60 kV超のパルス高電圧によるナノ秒パルス放電に関する応用研究が進められている。ナノ秒パルス放電はほぼストリーマ放電のみで構成されており、熱損失が少ないため、オゾン生成や排ガス処理において高いエネルギー効率を誇る。先行研究より、ナノ秒パルス放電に正極性の直流電圧を重畳することによる注入エネルギーの増加及びマッチングの改善が報告されている。また、処理対象によっては負極性のナノ秒パルス放電がより良い処理結果を示すことも報告されている。そこで本研究では、ナノ秒パルス放電に負極性の直流電圧を重畳しその特性を取得するとともに、オゾン生成・NO処理を行った。
