カーボンナノチューブ電界効果トランジスタ型NO₂ガスセンサにおける電極-カーボンナノチューブコンタクトの影響

抄録

カーボンナノチューブ(CNT)はその小ささ、比表面積の大きさ、敏感な電気的特性からガスセンサへの応用が期待されており、NO2に暴露することでコンダクタンスが上昇することが報告されている。我々はこれを電界効果トランジスタ(FET)のチャネル部分に用いることでNO2の検出を行っており、結果としてゲート電圧-ドレイン電流特性において、①ゲート電圧方向にシフトする応答②ゲート電圧正における電流が急激に減少する応答が見られている。①はCNTのキャリア密度変化が原因であり、②は電極-CNTコンタクトが影響していると考えられる。本研究では、②の電極-CNTコンタクトについて詳細に調査した。