シリコーンゲルにおける絶縁破壊に至るまでの放電進展と放電放射電磁波の関係に関する検討

抄録

　近年、パワーモジュールの小型・高性能化が進んでいる。パワーデバイスの封止材としてシリコーンゲルが使用されているが、信頼性やデバイス診断の観点から、シリコーンゲル中の絶縁破壊に至る放電進展特性の理解は重要である。筆者らはこれまで、不平等電界下におけるシリコーンゲル中の放電路電界解析を行い、放電路が導電路になることで自己進展することを明らかにしている。本研究では、放電路の撮影と電磁波の同期測定を行い、放電路の進展時に電磁波が検出されることを観測し、放電路形成に放電が寄与していることを示した。