シランカップリング処理によるコバルトの腐食抑制

抄録

薄膜Coの耐食性向上を目的に1，2-ビス（トリエトキシシリル）エタン（BTSE）を使用した防食処理に関して検討した．BTSEと過酸化水素を併用した液にコバルトを浸漬することによりコバルト酸化物上にBTSE層が形成され耐食性を大幅に向上させる．過酸化水素が含まれない場合は，BTSE層は形成されない．過酸化水素を含むBTSE溶液のpHの上昇とともに耐食性が向上する．これらの挙動は，おおむね硬い及び軟らかい酸塩基の法則で説明できる．