1992 年 48 巻 8 号 p. 1449-
いずれの移動方式においても微小移動くり返しからの再現性誤差が比較的大きい。これはテーブル移動量が小さい程、移動速度が遅く、慣性力の影響を受けにくいためと思われる。また移動量が小さい程、より高い移動精度が要求されてくる。したがって、日常の管理では、その施設で用いる最小移動を数回行い、測定開始点に戻したときの再現性をスキャン時最大の誤差と考えれば良い(測定時のテーブルの動作はfig.2-III参照)。調整不良等の機械的要因による性能低下は、この再現性に現れてくる。