表面科学と精密工学の接点

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

展望

表面科学と精密工学の接点

高桑雄二, 小川修一

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キーワード: in-situ observation, real-time monitoring, XPS, UPS, synchrotron radiation, RHEED, AES, CVD, thin film growth, photon-induced reactions, silicon, diamond, plasma-enhanced process

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2014 年 80 巻 5 号 p. 429-432

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.80.429

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© 2014 公益社団法人精密工学会

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