精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
走査型トンネル顕微鏡の探針微動機構
水谷 亘, 阪東 寛, 徳本 洋志, 岡野 真, 岡山 重夫, 梶村 皓二, 小野 雅敏, 脇山 茂, 坂井 文樹
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1987 年 53 巻 5 号 p. 695-697

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