気相合成ダイヤモンドの機械的強度を知ることを目的に, アーク放電プラズマジェヅトCVD法, 高周波プラズマCVD法および直流プラズマCVD法により合成した数百μm厚さのダイヤモンド薄板の強度を三点曲げ試験により評価し, 結晶の成長状態と強度との関係について検討した.以下に得られた結果を示す.
(1) 三点曲げ試験により気相合成ダイヤモンドの曲げ強さが評価できることを示した.
(2) 気相合成ダイヤモンド曲げ強さは, アーク放電プラズマジェットCVDダイヤモンドで0.5～08 GPa, 高周波プラズマCVDダイヤモンドで03-0.8GPa, 直流プラズマCVDダイヤモンドで0.7～1.5GPaであった.
(3) 粒径の小さい結晶からなる気相合成ダイヤモンドの方が大きい結晶からなるものより曲げ強さが大きい.
