技術報告
各種汎用ポリマーのC60+イオンエッチング速度
2009 年 16 巻 2 号 p. 98-113
詳細
2009 年 16 巻 2 号 p. 98-113
メッシュ・レプリカ法により，各種汎用ポリマーのC60+イオンエッチング速度を求めた．ポリエチレン（PE）やポリプロピレン（PP），そしてポリエチレンテレフタレート（PET）の場合，結晶化度が異なるとエッチング速度が変化している事が分った．結晶化度によって変化すると考えられる表面硬度とエッチング速度との間にも良い相関が見られた．
