解説
AESおよびXPS装置の発展と展望
2009 年 16 巻 2 号 p. 114-126
詳細
2009 年 16 巻 2 号 p. 114-126
AESおよびXPSは，鉄鋼製品や自動車部品，半導体，新素材等の表面の分析に広く用いられている．これらの製品や材料は時代と共に微細化の方向をたどり，それに対応するためにAESとXPS装置も高空間分解能化の方向で改良が加えられ発展してきた．この報告では，空間分解能を中心としたAESとXPSの装置の発展と今後の展望について触れる．
