電子分光を用いたインジウム・亜鉛酸化物薄膜の電子状態解析

安居 麻美; 小川 慎吾

doi:10.1384/jsa.25.21

抄録

X線光電子分光法（XPS）および反射電子エネルギー損失分光法（REELS）を用いて，透明導電性酸化物の一つであるインジウム・亜鉛酸化物（In-Zn-O：IZO）の電子状態分析を行った事例を紹介する．成膜時の酸素流量比を変えて作製したキャリア密度が異なるIZO膜について，XPS, REELS分析により電子状態の変化を系統的に捉えることができた．

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