抄録
二次イオン質量分析法（Secondary Ion Mass Spectrometry: SIMS）は，高感度に元素分布のイメージングや深さ方向分析ができることから，Si中の不純物分析のように半導体分野などで多く利用されてきた．近年になり， MeV領域のエネルギーを持つ高速重イオンを一次ビームとして用いるMeV-SIMS が開発され，有機材料の分析も可能となり，固液界面分析やオペランド分析に向けて低真空あるいは大気圧下でのSIMS分析も可能となってきている．ここでは、固液界面分析に向けて、湿潤He環境下においてSi基板上の安息香酸水溶液を次第に乾燥させながら連続SIMS測定した結果を示す．
