Journal of Surface Analysis
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技術報告
多評価自動計測のためのマテリアルシーケンサー開発
柳生 進二郎 吉武 道子長田 貴弘知京 豊裕
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2021 年 28 巻 1 号 p. 35-45

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抄録
無機材料の様々な評価を自動で連続して行う"マテリアルシーケンサー"を開発した.この装置は,機械学習分析などへの利用を前提としたデータ収集を行うために設計されている.そのため,出力計測データ及びメタデータ(データを説明するデータ)をフォーマット化した.各測定装置は,およそ40 cm角のスペースに収められ,試料へのアクセス方法や制御の入出力などモジュール化されている.試料の搬送はレールの上を動く搬送台車によって行われ,測定は試料上面からアクセスする.試料は,0.5インチサイズの無機材料を対象としている.現在,画像測定,反射測定,抵抗測定を行うことができ,さらに測定装置を拡張することも可能である.
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© 2021 一般社団法人 表面分析研究会
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