電子エネルギー分析器の強度軸校正方法

抄録

オージェ電子分光法（AES: Auger electron spectroscopy），X線光電子分光法（XPS: x-ray photoelectron spectroscopy）で使用される電子エネルギー分析器に関する強度/エネルギー応答関数（response function）の校正方法について記述する．どのようにデータが導出され，SI単位系のもとでどのような校正方法が遡及可能（traceable）かを，完全な系での基本的な物理的な原理の詳細を述べる．校正方法は，現在分析業務で必要とされている装置依存性を示す強度/エネルギー応答関数の正確なエネルギー依存性を与えることができる．本校正方法はAESに関しては2%以下，XPSに関しては4%の再現性を示している．またAESに関しては，絶対的な意味でトレーサブル（追試可能）であり，応答関数はsr･eV単位で与えられ6%の精度を持っている．XPSでは集光X線単色分光系では応答関数はAESと同様にsr･eV単位で与えられるが，単色化されていないX線源系に対してはm²･sr･eV単位がより適切である．XPSに関してはX線の発生効率を除いて全ての項（term）に対して正確なトレーサビリティ（traceability：遡及性）がある．絶対的な断面積（cross-section）を求めるためには十分なトレーサビリティが必要であるが，何らかの正規化の手順を用いる場合にはトレーサビリティはそれほど重要ではない．