(株)堀場製作所
トヨタ自動車(株)
2015 年 46 巻 1 号 p. 185-190
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欧州のPN規制が23nm以上の固体粒子を対象にしている一方,3nm未満の固体粒子の存在も指摘されている.計測において,これら微小粒子の通過率の確保と揮発性粒子の再凝縮の防止といった技術課題を明確にするために,市販のPNC とVPR を応用した23nm 未満を含む固体粒子数計測システムを試作し,その性能を評価した.