自動車技術会論文集
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技術論文
PMP システムを応用した23nm 未満を含む固体粒子数計測手法
大槻 喜則武田 賢二治田 和彦森 信久
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2015 年 46 巻 1 号 p. 185-190

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抄録

欧州のPN規制が23nm以上の固体粒子を対象にしている一方,3nm未満の固体粒子の存在も指摘されている.計測において,これら微小粒子の通過率の確保と揮発性粒子の再凝縮の防止といった技術課題を明確にするために,市販のPNC とVPR を応用した23nm 未満を含む固体粒子数計測システムを試作し,その性能を評価した.

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© 2015 公益社団法人 自動車技術会
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