応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22p-E202-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

レーザスライス技術を用いて剥離したGaN on GaN HEMTの評価
*田中 敦之, 杉浦 隆二, 河口 大祐, 和仁 陽太郎, 渡邉 浩崇, 瀬奈 ハディ, 安藤 悠人, 本田 善央, 伊ケ崎 泰則, 分島 彰男, 安藤 裕二, 天野 浩
著者情報
キーワード: 22p-E202-7, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 電子デバイス, 窒化ガリウム, レーザスライス, 高電子移動度トランジスタ
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