抄録
本研究は, 希土類永久磁石を装着した研磨工具に, 交流磁場を与えて工具先端部に微小振動を発生させることで超硬合金工作物の角穴側面の内面研磨を行った. 研磨工具は, 低温で溶融する市販のプラスチック樹脂を工作物の形状に転写させて成型し, 研磨材はダイヤモンド砥粒とシリコーンオイルを混合したものを用いた. また, 上下方向に超硬合金工作物を揺動運動することで, 研磨工具との相対運動を増加させて研磨能力の向上を図った. 工具の先端部の微小振動幅が9μm, 工作物の上下振動を振幅4mm, 周波数40Hzとすることで, 工作物の角穴側面の表面粗さ0.09μmRa (研磨前0.4μmRa) が得られた.
