抄録
ELID研削プロセスに基づく表面改質加工技術の応用として, マイクロ成形金型の基材として使用されるステンレス鋼および超硬合金に対し, ナノレベルの形状創製と同時に表面改質効果を発現させ, さらにDLCコーティング層等との密着性を向上させる表面改質加工面の創製を試みた. その結果, ELID研削を施すことにより, 基材の極最表層の硬さの上昇, DLC皮膜の密着性の改善が明らかに認められた. これらの効果は, ELID研削加工プロセス中に砥粒成分元素が基材に浸透拡散するという表面改質メカニズムによってもたらされたと示唆された.
