抄録
本研究では今までに, 「マイクロワークショップ」という概念に基づいて考案した小型立形円筒研削加工機 “KAMI-Ca-ZET方式” にELID研削システムを適用して, 微細加工において必要不可欠なマイクロツールの開発を行ってきた. 加工システムに旋回電極式ELIDシステムや, MQL加工法を適用することにより, 先端2 μm角のピラミッド型マイクロツールの製作が可能となった. そこで本研究では, さらにマイクロツール加工の高能率化のために, ELID研削システム適用の卓上型円筒研削加工機 “CYLIN” の開発を行った. 本報では, 小型立形円筒研削加工機 “KAMI-Ca-ZET方式” と卓上型円筒研削加工機 “CYLIN” の加工能率を調べた結果, 加工所要時間を1/30に短縮することができた. 基礎加工実験として, 砥石回転方向による加工面性状に影響があることが検証された. また, 形状精度評価実験で真円度には影響がないことが検証された.
