砥粒加工学会誌
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論文
ELID研削用導電性ラバーボンド砥石の開発と加工特性
長谷川 勇治大部 省吾伊藤 伸英伊藤 吾朗大森 整加藤 照子溝口 浩志
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2006 年 50 巻 1 号 p. 30-33

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抄録

ELID研削による効率的な高品位加工面創成の実現を目的として,ゴムをベースとした導電性ラバーボンド砥石の開発を行なった.本報告では開発した砥石の基礎的な特性を把握することを目的として電解ドレッシング特性,摩擦摩耗特性,加工特性について調査を行なった.砥石の基礎特性を調査した結果,電解ドレッシングにより砥石面に不導体被膜が生成すること,生成された不導体被膜は母材に比べ摩擦係数・比摩耗量が大きくなることがわかった.また, #120導電性ラバーボンドアルミナ砥石を用いて単結晶シリコンの加工実験を行なった結果,ELIDを付加することにより目づまりのない安定した加工が実現し,加工面粗さ15.8nmRaの良好な結果を得ることができた.反面,砥石の摩耗が大きくなることがわかった.

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© 2006 社団法人 砥粒加工学会
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