砥粒加工学会誌
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論文
ホットエンボス法によるマイクロ流路の作製
王 竹卿吉岡 正人平 晋一郎
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2009 年 53 巻 11 号 p. 673-678

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抄録
 本研究はμ-TAS等を視野に入れたマイクロ流路作製プロセスへの適用を目標として,ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)基板への,ホットエンボス法によるマイクロ流路の形成を目的としている.エンドミル加工によって作製した真鍮製のモールドを使用し,PTFE基板上に矩形断面(幅100μm,深さ100μm)の直線溝成形実験を行った.加工条件による,成形された溝の幅,深さ,形の転写性を調べた.その結果,温度250℃,プレス圧力14.7MPa,保持時間1分の条件で,最も転写精度が高くなることがわかった.得られた最適加工条件を用いると,95%程度の転写率が得られ,マイクロ流路作製プロセスへの適用が十分可能であることが確かめられた.
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© 2009 社団法人 砥粒加工学会
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