抄録
近年，精密部品のさらなる高品質化・量産化に対応するために，より幅広い加工条件に適用できる研磨パッドが必要とされている．そこで本研究では，工具速度 すなわち研磨パッド回転速度が加工特性に与える影響を検討し，低速・高速条件下において高い除去能率を実現できる研磨パッドを開発することを目的とした．まず，従来使用されている市販研磨パッドを用い，研磨パッド-工作物間の潤滑状態を検討することで，低速および高速条件下で高い除去能率を得られる研磨パッドの特徴を明らかにした．そして その結果にもとづき開発した研磨パッドの表面状態を適切に調節することで，低速・高速条件のもと従来使用されている研磨パッドに比較し，高い除去能率を得ることができ，また除去能率と研磨パッド-工作物間の摩擦力の比についても高い特性を実現することができた．
