砥粒加工学会誌
Online ISSN : 1880-7534
Print ISSN : 0914-2703
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Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響
第2報：実験的考察
周 立波, 光田 孝仁, 清水 淳, 田 業氷, 山本 武幸
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2010 年 54 巻 2 号 p. 92-96

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抄録
　第１報では，従来の幾何運動モデルに砥粒切削軌跡密度と機械剛性の概念を加えた新しいインフィード研削モデルを提案し，それに基づいて大口径Siウエハのインフィード研削における形状創成に与える機械剛性，砥石仕様および研削条件の影響を考察した．本報では，実験によって提案モデルの妥当性を検証するとともに，高平坦度加工の研削条件の最適化を行う.
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© 2010 社団法人 砥粒加工学会
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