抄録
微小径ドリル加工での切削抵抗（スラストおよびトルク）の計測は，加工状態を把握する上で非常に重要であるが，トルクの計測は難しく，技術的な課題が多い．そこで，微小径ドリル加工で発生する切削抵抗の同時計測が可能な力センサ内蔵型スピンドルと，それを搭載した微細穴加工機を開発した．スピンドルは，微小な信号を検出するため空気静圧軸受構造とし，スラスト検出には半導体ひずみゲージ，トルク検出には光センサを用いた．その結果，スラストは0.1N以下，トルクは0.05N・mm以下の検出分解能を持ち，良好な直線性を得ることができた．また，切削抵抗を監視し，切削抵抗の負荷領域設定による折損予防制御を備えることで，直径0.1mm以下の安定した微小径ドリル加工が実現できた．
