抄録
超精密研磨工程において，研磨パッド上のスラリーフローが研磨特性に及ぼす影響は大きいことが知られている．本論文では，様々な溝パターンを有する各種研磨パッドを対象として，それぞれによるスラリーフローを観察し，各種溝パターンがスラリーフローに及ぼす影響を検討した．ここでは，高速度カメラによって得られた観察イメージから，デジタル画像処理を施すことによってスラリーフローを定量的に変換し，比較検討を行った．その結果，著者らが提案・試作したインボリュート曲線に基づくスラリー排出溝パターン，およびスラリー流入溝パターンによるスラリーフローは，従来から広く用いられている汎用の溝パターンによるスラリーフローと比較して優位性のある特徴的な傾向を示すことを明らかにした．
