抄録
ラッピングテープによる研磨加工は，加工領域に連続的に新品テープを供給しつつ，加圧ローラで押しつけながら，相対運動させる仕上げ加工である．近年，高硬度な被削材に対しては，超砥粒を結合材によってテクスチャ構造に成形した，比較的高価なラッピングテープが用いられているが，使用後に廃棄されており，加工コストの増加が問題となってきた．そこで本研究では，超音波キャビテーションによって，加工後に目づまりしたラッピングテープの凝着物を除去し，加工能力を再生する方法を提案する．まず，超音波洗浄機のキャビテーションによって凝着した切りくずを除去できることを確認した．次に，研磨プロセス中での凝着物の除去を実現するために，研磨装置内に組み込み可能なサイズの超音波振動ホーンのスリット内を，研磨プロセスと同じテープ送り速度で通過させて，凝着物を除去した．凝着物除去能力を目づまり面積で評価するとともに，研磨特性を被加工面の表面粗さおよび負荷曲線から評価した．その結果，本手法が研磨プロセス中に，使用済みテープの研磨能力を再生できることを確認できた．テープ送り速度を遅くしたり，除去工程を繰り返すことで目づまり面積は減少し，2回の除去工程で目づまり面積を半減できた．
