スパッタエッチングにより形成した微細突起物のSEM画像を用いた突起物３Dモデルの生成

抄録

　ステンレス鋼の表面をアルゴンイオンでスパッタエッチングすると，円錐状，柱状，粒状などの微細突起物が形成される．これらの微細突起物を利用すれば，軟質で滑りやすい各種の物体を確実にグリップできると思われる．しかし，変形特性の異なる各種の軟質物体を確実にグリップできる突起物の形状と寸法を，実験により決定するには，多大な時間とコストがかかる．本研究では，このような作業をコンピューター上で実行できる「グリップ・ソフトウェア」を開発するため，中心課題の一つである微細突起物の走査型電子顕微鏡（SEM）画像から3次元突起物モデルを効率よく生成する手法を提案した．