MEMS3軸力センサの事業化と製品展開

抄録

MEMS3軸力センサの研究開発は，民間企業との共同研究という形で2006年にスタートし，科学技術振興機構（JST）若手研究者ベンチャー創出推進事業（現在のA-Step）によって加速され，2011年にベンチャー設立へと至った．その後もMEMSセンサチップの質的改善は大学で継続して行ない，精度や耐久性といった製品の数値的な追い込みはベンチャーで実施するなど，それぞれが得意とする分野を両輪で廻した結果，会社は現在まで生き延びることができている．本発表ではMEMS3軸力センサの事業化の歴史を簡単に紹介すると共に，小型・薄型・軽量化を突き詰めたアンプ一体型センサや，力だけでなくモーメントも取得可能な6軸力センサなど，これからの製品展開についても紹介を行なう．また，MEMS3軸力センサを使用した計測やシステム構築を今後行ないたいと考えている方向けに，どのような点に注意すれば良いか，何がトレードオフになるのか，といったノウハウを実際の使用例を紹介しながら説明を行なう．