1P1-69-110 Tracing 型人工能動触角 : 有効ねじ長の検出

抄録

Tracing型人工能動触角は弾性棒の先端で床をなぞることにより, 微小な凹凸形状を検出するものである。本報告では, 5ミクロン似上の推定分解能を持つこのシステムでねじ穴内部をなぞることにより, ねじ山を検出する応用システムを提案する。有効ねじ長を実験により検出する。