2A1-47-058 圧力駆動バルーン構造を利用した柔軟フィルムアクチュエータ

抄録

カンチレバー上にバルーン構造を持つ空気圧駆動の柔軟フィルムアクチュエータを開発した。アクチュエータは, バルーン部を加圧することにより反り上がる動作をする。今回, この動作を利用し複数のアクチュエータを並べ, 搬送のデモンストレーションを実現し特性評価を行った。また, マイクロマシーニングを適用したマイクロバルーンアクチュエータの製作についても報告する。