2P1-53-085 パラレルメカニズムを用いたナノメータ加工機の開発

抄録

近年, ナノメータオーダの加工精度が要求されることが多くなってきている。それに伴い, AFMやSPMなどを用いた切削実験が行われているが, 微動機構の運動精度が十分でない。本研究では, パラレルリンク機構を用いた微動機構を製作し, ナノメータ加工機用微動ステージとして, 適用の可能性について述べる。