抄録
本研究では, 気流制御により物体を自由自在に操作するマクロおよびマイクロ非接触搬送システムの研究を行っており, 現在, 精度および制御性の向上に取り組んでいる。搬送ノズルユニットの小型化による, 搬送物位置決めの高精度化, コーナリング時の搬送気流の流量制御による搬送物方向転換の制御性の向上が期待できる。これまでに, ノズルの開口制御用弁として空気圧駆動による流量制御機構を実現し, 上記の性能の向上を図った。さらに, マクロシステムと同様に複数の搬送ノズルユニットを組み合わせた搬送システムの実現を目指している。
