2A1-F08 低電圧大変形静電マイクロアクチュエータ

抄録

約10Vの低電圧で約13度の角度変形する静電マイクロアクチュエータを実現した。このアクチュエータは, 根元が反り上がったシリコン製の片持ち梁と, それに対向する基板との間に電圧を印加することで動作する。片持ち梁の反り上がりを小さくすることで駆動電圧を下げることができ, 同様の片持ち梁を直列に複数接続することで大変形が可能となる。片持ち梁の反り上がりには, シリコンと金属薄膜の残留応力の違いを利用した。本講演では, 膜厚を一定とし金属薄膜の長さを変えることで反りを変化させた実験データにより, 更なる低電圧化及び大変形化の可能性を示す。