2P1-H07 小形流体アクチュエータ用高出力マイクロポンプの開発

抄録

個別に流体パワー源を持つ小形液体アクチュエータ用として, 高出力マイクロポンプの研究を行っている。本報では, ピエゾ駆動ポンプの吐出弁に替えて, 流体慣性力を保存する管路要素を設けた新構造を提案する。新構造マイクロポンプは, ポンプ室直径3mmで流体出力約50mWを達成し, ポンプの体積効率は100%を超えることがわかった。また開発したマイクロポンプを用い, 指形フレキシブルアクチュエータの屈曲動作が可能である事を実証した。