2P1-3F-E5 劣可動特異点近傍を活用したパラレルメカニズム型微小運動機構

抄録

機構の劣可動特異点近傍では出力運動が縮小するため, 多自由度微小運動機構になると考えられる。本報は, 微細作業装置の開発を目的にして, ヤコビ行列に基づき具体化したパラレルメカニズム型の微小運動機構を提案する。