1A1-1F-F6 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ

抄録

マイクロロボットに用いるサーボモータへの応用を目的として, マイクロ超音波モータの試作・評価を行った。直径0.8mmの円筒形の圧電振動子を用いて片端固定とし, 周波数330kHzでの回転駆動を実現した。