1A1-3F-A7 レーザ光を用いたマイクロ操作・加工システム

抄録

レーザ光の放射圧を利用したマイクロ操作とレーザアブレーションを利用したマイクロ表面加工を同時に行えるシステムを試作した。本装置による極微量液滴の精密操作とミクロンサイズの微粒子の加工について報告する。