熱工学コンファレンス講演論文集
Online ISSN : 2424-290X
セッションID: A233
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A233 ベッセルビームを用いたフッ素ドープ酸化スズ薄膜のナノ秒パルスレーザスクライビング(OS-7: 電子機器・デバイスの熱工学的課題と熱流動現象(5))
キム ビョンギ飯田 亮一ドアン ホン ドク伏信 一慶
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抄録
For the fabrication of groove on FTO thin film, substrate (glass) side laser scribing is usually used to obtain several tens μm groove width. In this study, in order to achieve smaller groove width, Bessel beam, which has extremely small beam waist, was used instead of Gaussian beam. Novel optical system has been designed to shape Bessel beam with 4〜5 μm width and 20 mm focal depth. Experimentally, we achieved perfectly isolated grooves with only 2.0〜3.0 μm width along 10 mm on focal direction.
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© 2015 一般社団法人 日本機械学会
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